SP120 系列的可靠性和性能自 1989 年以來，一直深受行業(yè)客戶的信賴。該系列除采用全焊接結構外，還采用了全不銹鋼傳感器。SP120 系列采用 Wasco 專有的制造方法，消除了所有泄漏路徑。該系列是處理腐蝕性介質的選擇，精度高，公差小。我們?yōu)榘雽w設備等高純度應用設計了這些開關。SP120 系列不含任何彈性體或 O 形圈。根據(jù) SEMI F1 標準，所有開關的氦氣泄漏測試值均為≤ 1 x 10^-9 std cc/sec。

為半導體設備等高純度應用設計

不含任何彈性體或 O 形圈

符合SEMI F1 標準

經(jīng)過氦氣泄漏測試

氦氣泄漏量 ≤ 1 x 10^-9 std cc/sec

SP120-3 Max系統(tǒng)壓力：30 PSIG

SP120-5 Max系統(tǒng)壓力125 PSIG

SP120-8 Max系統(tǒng)壓力：250 PSIG

SP120-15 Max系統(tǒng)壓力：500 PSIG

可提供其他配置外螺紋端面密封和飛線

可提供其他配置外殼

可提供其他壓力范圍

產(chǎn)地：美國

Max系統(tǒng)壓力：30 PSIG

設定點范圍：1 - 30 PSIG

設定點公差：± 0.7 PSI

復位范圍：0.7 - 2.3 PSI

潤濕元件接頭：316L SS

膜片：17-7PH SS

使用壽命：≥ 1,000,000 次

防護等級：IP 65

泄漏率：≤ 1 x 10^-9 std cc/sec

工作溫度：-65至 225 °F；-54 至 107 ℃

端面密封：1/4 " 外螺紋

外殼：9 針

氣箱、臭氧系統(tǒng)、氣體分配系統(tǒng)、半導體設備